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具有良好的耐化學(xué)腐蝕性、耐高溫性、耐氧化型、耐候性、耐射線輻射性能強(qiáng);具有較強(qiáng)的剛性,強(qiáng)度,精確的外形尺寸和嚴(yán)格的產(chǎn)品重量,長(zhǎng)期使用不變形,不污染清洗液,槽內(nèi)表面光滑無(wú)毛裝載硅片晶圓時(shí)不劃傷硅片,能夠滿足晶圓硅片的生產(chǎn)工藝要求。